電容位移傳感器在使用過程中常因電容結構不穩定、寄生電容和電容器極板邊緣效應的干擾而影響其性能。因此，要設法克服這些不利因素。
　　1、克服結構不穩定的影響
　　對結構的影響首先是溫度。顯然電容位移傳感器吸收的能量小，不會因發熱而改變它的工作點，但是周圍環境的溫度會改變電容位移傳感器各組成零件的尺寸，另外，介質介電常數也因溫度的變化而有變化，這些都導致電容的附加變化。要消除這一影響，應在設計傳感器時，精心選取材料，配用二次儀表，應采用溫度補償。這些措施，往往在設計和制造時已考慮，但選用者必須知道這一因素的重要性。
　　對結構有影響的第二個因素是濕度。電容位移傳感器有一個重要特點，即電容量一般都很小，僅幾十皮法，甚至幾皮法。如果電源頻率較低，則電容位移傳感器本身的容抗就可高達幾兆歐或幾百兆歐，是一個高阻抗、小功率的傳感元件。對于這樣一個傳感元件，絕緣問題顯得非常突出，在設計和使用時，都要充分考慮到這一點，應選用高絕緣性能的材料制作，并且要采取防潮措施。
　　2、消除寄生電容的干擾
　　兩導體之間，均可構成電容關聯，因此，電容位移傳感器除了極板間的電容外，極板還可能與周圍物體產生電容關聯，這種附加的電容關聯，稱之為寄生電容。由于電容位移傳感器中的電容本身很小，因此對寄生電容干擾非常敏感，特別是寄生電容極不穩定，將導致傳感器的性能不穩定。當使用電容位移傳感器時，解決好寄生電容的影響至關重要。
　　消除寄生電容的影響，常采用屏蔽和接地技術。即將傳感器放在金屬殼體內，并將殼體接地，這樣就消除了傳感器與殼體外部物體之間不穩定的寄生電容。但是，即使采用了上述措施，還會存在“電纜寄生電容”問題，即由于連接電容位移傳感器的電纜所引起的寄生電容。解決這一問題的途徑，可用有源式傳感器或者“雙層屏蔽等電位傳輸”（又稱驅動電纜）技術。
　　3、消除邊緣效應的影響
　　電容器極板邊緣存在不均勻電場，造成邊緣效應，使電容傳感器靈敏度下降并且產生非線性誤差，應盡量消除或減少。在結構允許情況下，通常采用等位環消除邊緣效應。帶有等位環的電容位移傳感器原理圖。等位環安在內極板（圓形）之外，且與電絕緣但等電位。這樣，極板為均勻電場構成電容傳感器，發散的不均勻電場在等位環外測不參與工作。